惠州集成电路产业园正以强劲的产业势能与前瞻性的空间规划，全面启动洁净车间与超净实验室同步招租工作，面向全国半导体设计、晶圆级封装（WLP）、MEMS传感器、先进光电器件、第三代半导体材料研发及高端芯片测试验证等细分领域企业，提供高规格、专业化、可快速投产的产业载体。

园区位于惠州仲恺高新区核心产业带，毗邻国家火炬计划惠州电子信息产业基地，交通区位优越——距深圳宝安国际机场约70公里，广汕高铁惠州南站15分钟车程，深惠城际轨道（规划中）站点设于园区东侧。依托粤港澳大湾区集成电路产业协同发展战略，园区已纳入广东省“强芯工程”重点承载平台名录，并获省工信厅专项建设资金支持，具备从政策赋能、基础设施到产业生态的全链条支撑能力。

本次招租的洁净车间严格对标国际标准建设，单层挑高8.5米，承重达1.2吨/㎡，地面采用环氧磨砂自流平+防静电PVC卷材复合结构，满足ISO Class 5–7（即千级至万级）动态洁净度要求。空调系统配置三级过滤（初效+中效+高效HEPA），温湿度控制精度达±0.5℃/±3%RH；电力系统采用双回路供电+UPS不间断电源（满载续航≥30分钟），并预留2N冗余配电接口；特气管道系统支持氮气、氩气、压缩空气及部分腐蚀性气体（如Cl₂、NF₃）的安全接入，所有管路均经EP级电抛光处理与氦质谱检漏认证。车间模块化分割灵活，面积从300㎡至3000㎡不等，支持企业按需组合，最快签约后30个工作日内完成通电、通水、通气及洁净环境验收。

同步开放招租的超净实验室则聚焦研发验证环节的“卡脖子”场景，共规划建设12间差异化功能实验室，包括：

• Class 100级（百级）微纳加工实验室：配备全套光刻—刻蚀—镀膜—检测工艺链，兼容6英寸及以下基板，支持硅基、SiC、GaN等多材质工艺开发；
• 电磁兼容（EMC）预兼容实验室：屏蔽效能≥100dB（30MHz–18GHz），内置三轴天线塔与实时频谱分析系统，满足GB/T 17626系列标准预测试需求；
• 高精度可靠性试验室：含-65℃至+175℃快速温变试验箱（15℃/min）、HAST高加速应力试验系统、机械冲击台（5000g）及HALT/HASS振动台，支持AEC-Q200等车规级认证前期验证；
• 低噪声射频测试舱：背景噪声低于-170dBm/Hz（1GHz），集成矢量网络分析仪、信号源与探针台，适配毫米波芯片、射频前端模组的S参数与EVM测试。

所有实验室均通过第三方权威机构（SGS/CMA资质）洁净度与电磁环境认证，并配套24小时智能门禁、环境参数云端监控、危废分类暂存及专业运维托管服务，切实降低初创团队与中小企业的研发试错成本。

在运营服务层面，园区设立“IC产业服务专班”，提供从工商注册、环评安评辅导、人才公寓配租、产教融合实训对接，到流片补贴申报（最高300万元）、EDA工具云平台共享、封装测试资源撮合等“一站式”增值服务。目前已与中科院微电子所、华中科大集成电路学院、惠州学院微电子研究院建立联合实验室机制，定期组织技术沙龙、流片班车与供应链对接会。

值得一提的是，园区对符合《广东省集成电路产业高质量发展行动计划》重点方向的企业，实行“三免两减半”租金优惠（前三年全额减免，后两年减半），叠加仲恺高新区“芯火计划”专项资助，最高可获设备购置补贴40%、研发投入补助15%。对于拥有发明专利或承担国家级课题的团队，还可申请“拎包入驻”绿色通道，优先匹配定制化空间与种子基金直投。

当前，已有6家专注功率器件封测、车规MCU验证、光电共封装（CPO）模块研发的企业完成意向签约，首批洁净车间与实验室预计于2024年第四季度陆续交付启用。惠州集成电路产业园正以“硬设施+软服务+快响应”的三维竞争力，加速构建粤东地区最具活力的集成电路垂直整合创新节点——这里不仅是物理空间的载体，更是技术突破的孵化器、产业落地的加速器、人才汇聚的引力场。诚邀志在深耕中国芯的科研力量、创业团队与产业化企业，共赴洁净之境，同启微纳之程。